作为微纳尺度光热表征与原位物理测试领域的创新者，美国 Waviks 致力于为扫描电镜（SEM）扩展多维度原位激发与分析能力。

针对第三/四代半导体（GaN、SiC、氧化镓、金刚石等）、微纳光电器件及先进封装的热/光失效难题，Waviks Vesta 将高精度的局域光激发、激光原位加热与相关光谱分析深度无缝无损集成于电镜腔体内。

系统把传统静态形貌观察电镜升级为动态物理实验平台，可在纳米尺度下高效开展微区光电响应分析、激光退火过程模拟、FIB 离子束损伤修复以及热应力演化的原位表征，为半导体材料研发与失效分析提供强有力的微观机理支撑。